洁净不锈钢氮气柜—ISO1-3300H 

提供高洁净度、超低湿、无静电和无外界干扰的存放环境。

洁净等级：ISO1～3级

湿度控制：≤5%RH

存放数量：32盒12寸晶圆盒

尺寸：W1600*D832*H2400mm；

柜体材质：SUS304双镜面

钣金厚度：1.2mm

表面处理：双镜面

氮气除湿：自动控制充氮气

氮气控制：德威尔流量计

静电消除：1分钟降低至100V

门板设计：前后4门共8门

系统配置：品牌FFU高效

报警系统：三色警灯

8寸晶圆盒，可存放72-48盒 

设备简介

尺寸：W1600*D832*H2400mm；

层数：整体分四层；

门数：前后8门，共16门；

存放：可存放24盒12寸晶圆盒。