洁净减震推车柜ISO1-1080D

实现洁净室内物料的安全、无污染转运和临时存储。

一、 洁净等级

1、控制等级：ISO1～ISO5级；

2、控制粒径：0.1微米；

3、洁净标准： ISO 14644-1。

二、 三重减震设计

1、减震轮：配置4个减震轮；

2、避震器：底盘与柜体用避震器连接，柜体整体在避震器上；

3、减震隔板：隔板与柜体通过弹簧连接，弹簧数量决定载重。

三、静电消除

1、静电残余：100V；

2、消除时间：小于1分钟；

3、消除方式：正负离子中和。

四、产品特性

1、柜体材质：双镜面不锈钢；

2、外形尺寸：根据需要定制；

3、断电续航： ≥ 8 小时 (确保不间断运行 。

洁净等级：ISO1～3级

减震配置：三重减震设计

1、不锈钢避震轮

2、弹簧阻尼减震器

3、橡胶缓冲垫

存放数量：6盒12寸晶圆盒

柜体材质：SUS304

钣金厚度：1.2mm

表面处理：双镜面

静电消除：1分钟降低至100V

门板设计：前后2门共4门

系统配置：品牌FFU高效

8寸晶圆盒，可存放24盒